BEST ܛ�������ڹ����ų������ú�У��(zh��n)���N ����BROOKS����Ӌ(j��)�a(ch��n)Ʒ�Ľ^�ѹ��ߡ��� BEST �������������@Щ���@���c BEST ���ݵĮa(ch��n)Ʒ�б�����Ӱ푵���̖(h��o)��BEST 5.10+�����P(gu��n)�a(ch��n)Ʒ�������б���Ո(q��ng)���������

�|(zh��)�����������˜I(y��)�����I(y��)�����N�۷���(w��)����������MFC��֪��Ʒ���У�Brooks��MKS��HORIBA, UNIT��Tylan��AE��STEC��Alicat����Ʒ�NҎ(gu��)���Rȫ

1. �ݷeʽ����Ӌ(j��)���ַQ����������Ӌ(j��)�������ÙC(j��)е�y(c��)��Ԫ�������w�B�m(x��)����ķָ�Ɇ΂�(g��)��֪���w�e���֣�����(j��)�y(c��)��������؏�(f��)�ij�M���ŷ�ԓ�w�e�������w�ĴΔ�(sh��)��y(c��)�����w�w�e������2. ����ʽ����Ӌ(j��)���ַQ�D(zhu��n)������Ӌ(j��)����׃��eʽ����Ӌ(j��)��һ�N����һ���������ϔU(ku��)��Ĵ�ֱ�F���У��A�ΙM����ĸ��ӵ���������Һ�w��(d��ng)�����ܵ����Ķ�ʹ���ӿ������F������...

�|(zh��)��������������Mass Flow Controller�s����MFC�����ڌ�(du��)�ښ��w����Һ�w���|(zh��)�������M(j��n)�о��ܜy(c��)���Ϳ��ơ��U(ku��)ɢ��������������������CVD�����x�ӿ��g���R�����x��ע�����Լ�����Ĥ�O(sh��)�������w�۟���΢����(y��ng)�b�ã�������ϵ�y(t��ng)��ë��(x��)�ܜy(c��)������ɫ�V�x���⌧(d��o)�w�S�����O(sh��)���С����V������ʯ�ͻ�����ұ������ˎ�ȡ����c(di��n)�����ȸߣ��؏�(f��)�Ժ���...

�|(zh��)��������������Ӣ�����ֽС�MASS FLOW CONTROLLER��(��(ji��n)�QMFC)����ͨ�����·�������������M(j��n)����ܵ����^���������ܵ����C(j��)�����{(di��o)��(ji��)�y�Ȳ����M�ɡ�